設備采用微波催化紫外光管，是目前工業應用中zui強的紫外線，紫外線劑量超過65mw/cm2，185nm，176nm，173nm，154nm波長的紫外線在光譜中達到14%，電子能量達到13eV，能迅速撕裂污染物，高能離子帶正電荷的氧分子團將在*時間被裂解，成為活氧，參與更高級的氧化階段。可以根據廢氣的摩爾濃度，控制活氧的發生量，同時根據民用和工業的要求設計無極燈的數量和活氧能力，保障并且防止臭氧剩余排放。

紫外光微波廢氣凈化技術采用微波電磁輻射功能對廢氣進行微波輻射，使細胞中極性物質隨高頻微波場的擺動受到干擾和阻礙，引起微生物細胞的蛋白質，核酸等生物大分子受熱凝固或變性失活，從而導致其突變或死亡，同時對磁共振使之產生強磁輻射對廢氣分子進行切割、破壞、斷裂，如：氨、*胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、苯、甲苯、二甲苯、丁酮、丙酮、吡啶、乙酸乙脂、DMF等物質的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，*達到脫臭及殺滅細菌的目的。再利用O3對廢氣進行氧化反應，zui后采用特制合成催化劑對廢氣進行光合還原反應。可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。